eArctic AS510DMTXB

AS510DMTXB是专为硬质合金刀片等小尺寸产品设计的一款PVD涂层设备，运用了GAMS多元涂层技术，GAMS运用了包括：GISETCH^®：气体离子刻蚀及辅助沉积技术、4G-CAE^®：第四代阴极电弧技术、UBMS非平衡磁控溅射技术和Smart Shutter智能源挡板技术，可以镀制SINOX⁴系列五元合金（Al、Ti、Cr、Me、Si）氮氧化物涂层，技术规格如下：

真空室尺寸	Ø800mm * H700mm
均匀可镀区	Ø500mm * H300mm
极限真空度	3.0*E-4Pa
压升率	0.2Pa/hr
冷却水	6ton/hr
占据空间	4.5*4.0*3.5
抽气系统	磁悬浮涡轮分子泵抽真空系统
真空检测	复合真空计+薄膜真空规
工艺气体MFC	4路
转架	可移出式下转架（4轴、5轴、6轴、8轴任选）
4G-CAE®第四代阴极电弧系统	8套（4列）
UBMS非平衡磁控溅射系统	2套
GISETCH®气体离子刻蚀及辅助沉积系统	1套
偏压电源	1套
Smart智能源挡板	1套
加热系统	550度，3根热电偶监测
冷却水循环系统	配日本SMC水流开关，智能控制
自动控制	IPC+PLC全自动控制
装载量	1800片/炉（以Φ20*6mm规格刀片为例）
生产运行周期	SINX4系列和SINOX4系列涂层（3μm），5.5小时/炉