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eArctic AS710DTXB
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产品描述
AS710DTXB技术规格
● 真空室尺寸:直径 900mm x 高度1200mm
● 均匀可镀区:直径 650mm x 高度800mm
● 工件转架系统:可移出式下装工件转架、带可升降液压推车,多种结构任选(1/4/6/8/9/12轴)
● 真空泵系统:粗抽泵(带粉尘过滤器)+罗茨泵+分子泵+前级泵
● 工艺气体进气系统:4路数字控制MFC
● 真空检测系统:复合真空计+薄膜真空规
● 偏压电源:直流(脉冲)30KW(水冷)
● Smart智能挡板系统:1套
● 4G-CAE®电弧:16套(4列*4套/列)
● 弧电源:CAE-150C,150A连续工作时间大于5小时
● GISETCH®模块:1套(GIS+AE Pinnacle Plus+ 10KW驱动电源)
● 控制系统:IPC+PLC全自动控制
● 加热模块:≥500℃
● 电力要求:100KVA,380-400V,50-60Hz
● 冷却水要求:6.0 ton/hr, Δ2.5kg/cm2,20-25℃
转架推车图
夹具装载图
虚拟手动操作界面
主监控界面显示所有参数
镀膜样品-滚齿刀
镀膜样品-立铣刀
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