三种常见高真空泵的对比

泵的种类	低温泵	扩散泵	涡轮分子泵
工作方式	将气体微粒冻结到一块“多孔性材料”上， 从而捕获气体微粒	用快速流动的油捕获气体微粒，并 将它们导出真空室	用高速旋转的叶片产生强力气流，从 而将气体微粒导出腔室
应用	尤其适合于半导体及平面显示器的应用 仅用于高级太阳能电池工艺	适合于大多数应用，但半导体除外 建议不要用于反应式镀膜	适合于大多数应用
优点	非常适合于移动速度快的小原子，例如： 氦气、氢气和水蒸气 多种安装方式，允许任何方向	价格低廉 可靠度高 适用于较大的空间	良好的抽气特性 无需维护 多种安装方式，允许任何方向 无污染源
缺点	需要再生 抽气速度不稳定 气流较大时效果不理想	可能造成污染（油气） 只能直立安装 建议不要用于活性气体，存在爆炸危险	高压（排气）可能造成损坏