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超高真空磁控溅射镀膜机

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产品描述
1、极限真空度 5.0*10-5Pa
2、无盲点镀膜技术
3、支点自动切换技术
4、双真空室
5、内外表面镀制TiN-GIMS
6、配置矩形和柱状磁控溅射靶
7、配置气体离子源
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