丹普公司GIMS技术通过中国有色金属工业协会成果

　　2014年9月2日，中国有色金属工业协会在广州主持召开了科技成果鉴定会，对广州有色金属研究院、北京丹普表面技术有限公司联合完成的“离子源复合真空镀膜成套装备、工艺及应用”项目成果进行鉴定。与会专家听取了项目汇报，审阅了鉴定资料，经过质询和讨论，形成如下鉴定意见：

 

　　1.提供的鉴定资料齐全，数据详实，符合科技成果鉴定要求；

 

　　2.通过研究阳极层气体离子源、非平衡磁控溅射和阴极电弧等技术，设计并开发出全自动控制多功能离子镀膜系列装备。该装备具有适用面宽、沉积面积大、工艺稳定、重复性好等优点；

 

　　3.研究阳极层气体离子源结合非平衡磁控溅射复合镀膜技术，制备出可精确控制层间界面、掺杂成分及微观结构的多层多相多尺度类金刚石复合膜。该薄膜具有优异的综合性能：硬度大于20GPa（最高可达35.5GPa），厚度可调（最高可达6um），膜基结合力大于50N（最高可达100N），摩擦系数小于0.2（最低可达0.05）。

 

　　4.研制的成套装备及工艺技术已实现产业化，经国内外用户使用，反应良好，产生了显著的经济和社会效益。

 

　　综上所述，该成果的装备及工艺技术达到国际先进水平。

 

　　鉴定委员会一致同意该项目通过科技成果鉴定。

 

　　建议：加快推广应用。