eArctic AS500DMTXB

AS500是全自动、试验（小）型、多功能PVD硬质镀膜涂层设备，具体技术规格如下：

真空室尺寸	Ø760mm * H700mm
均匀可镀区	Ø500mm * H300mm
极限真空度	3.0*10-4Pa
压升率	0.33Pa/hr（常态）
冷却水	5ton/hr
占据空间	4.0*3.0*3.5m3
真空室	日韩304不锈钢，双层内衬，五年质保
抽气系统	Edwards/Leybold磁悬浮分子泵+Leybold粗抽泵
真空检测	Inficond薄膜规+SKY90复合真空计
流量控制	七星华创7S-CS200数字流量计/Brooks/MKS/AE
转架	可移出式下转架（4轴）
阴极电弧	最多2组（4套）4G-CAE（靶材规格100*20）
磁控溅射	最多2组（4套）柱状或者平面
气体离子源	阳极层流型气体离子源1套
偏压电源	AE Pinnacle Plus 10KW/ Huettinger 18KW
智能源挡板	1套，实现镀膜前的靶材预清洗
加热系统	最高500度，3根热电偶监测
冷却水循环系统	配日本SMC水流开关，智能控制
电气元件	日本欧姆龙PLC、端子、施耐德等空开、接触器

设备展示