DLC涂层结构图

        DLC（Diamond Like Carbon）涂层又叫类金刚石涂层，它是一种新型的硬质润滑功能涂层材料，具有SP2和SP3电子轨道杂化的碳原子空间网络结构，通常为非晶态或非晶-纳米晶复合结构。DLC涂层具有较高的硬度、优异的减摩耐磨性能、高热导率、低介电常数、宽带隙、良好的光学透过性以及优异的化学惰性和生物兼容性等，在机械、电子、光学、装饰外观保护、生物医学等领域有着广阔的应用前景。DLC涂层适合于磨损和滑动的环境下，在没有任何润滑介质的条件下，可以降低摩擦损耗，可以用于汽车发动机零部件（燃油喷射系统、动力传动系统）、轴承、滚轮、纺织机械、飞行等众多领域。
        DLC薄膜的制备方法有多种，目前常用的主要有物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）以及液相法等。我公司利用GIMS^®气体离子源增强磁控溅射技术制备DLC涂层，向GIS离子源中通入C2H2或CH4等含C气体，GIS放电后分解和离化出C原子和H原子，制备DLC涂层，同时启动MS溅射靶，镀制出掺杂Ti、Cr、W等金属的Me-DLC涂层，DLC涂层硬度2000HV，摩擦系数：0.1-0.2。

        
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