全面维护为我公司为最终用户提供的一项增值服务，通过全面维护，让旧设备基本恢复到新设备的性能，能够保证设备长时间稳定运行，解决客户的后顾之忧。

        建议客户最多2年要做一次设备的全面维护，每次需要约5天（依靠与客户的配合），全面维护的工作范围包括：

        1、更换密封圈，包括：真空室、电弧靶、溅射靶、离子源、阀门、加热器等零件密封圈；
        2、清理清洁：内衬板、挡板、加热器、布气管、泵组、控制柜、电源柜等；
        3、更换耗材：泵油、引弧针、过滤器、绝缘件、轴承、冷却管路等；
        4、仪器校准：真空计、流量计等；
        5、性能测试：设备各个部件、整体运行和真空性能指标正常；
        6、维护报告：给用户出具全面维护保养证明；

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