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超高真空磁控溅射镀膜机
采用无盲点镀膜技术,支点可以自动切换,双真空室,内外表面镀制TiN-GIMS,并且配置矩形和柱状磁控溅射靶和气体离子源...
1、极限真空度 5.0*10-5Pa
2、无盲点镀膜技术
3、支点自动切换技术
4、双真空室
5、内外表面镀制TiN-GIMS
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