离子镀膜PVD涂层设备解决方案

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DLC涂层  涂层设备解决方案 当前位置:主页 > 解决方案 > DLC涂层
目标客户
科研院所、涂层中心、航天军工企业
方案核心
能够提供DLC涂层设备及整套工艺技术

 

解决方案及优势 

 
DLC涂层结构图

        DLC(Diamond Like Carbon)涂层又叫类金刚石涂层,它是一种新型的硬质润滑功能涂层材料,具有SP2和SP3电子轨道杂化的碳原子空间网络结构,通常为非晶态或非晶-纳米晶复合结构。DLC涂层具有较高的硬度、优异的减摩耐磨性能、高热导率、低介电常数、宽带隙、良好的光学透过性以及优异的化学惰性和生物兼容性等,在航空航天、机械、电子、光学、装饰外观保护、生物医学等领域有着广阔的应用前景。DLC涂层适合于磨损和滑动的环境下,在没有任何润滑介质的条件下,可以降低摩擦损耗,可以用于汽车发动机零部件(燃油喷射系统、动力传动系统)、轴承、滚轮、纺织机械、航空航天等众多领域。
        DLC薄膜的制备方法有多种,目前常用的主要有物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)以及液相法等。我公司利用GIMS®气体离子源增强磁控溅射技术制备DLC涂层,向GIS离子源中通入C2H2或CH4等含C气体,GIS放电后分解和离化出C原子和H原子,制备DLC涂层,同时启动MS溅射靶,镀制出掺杂Ti、Cr、W等金属的Me-DLC涂层,DLC涂层硬度2000HV,摩擦系数:0.1-0.2。


 


适用DLC涂层设备

1、AS600DMTXB


镀膜样品示例

        
汽车零部件                                                汽车零部件                                            喇叭膜
         
翻边模具                                                 光盘模具                                         高尔夫球头

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