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TiC/DLC类金刚石多层膜的制备及组织形态

TiC/DLC类金刚石多层膜的制备及组织形态

2022-05-16

多层膜是由不同材料相互交替沉积而成的组分或结构交替变化的薄膜材料,由于它具有大量的界面,通常会增加材料的韧性,阻碍裂纹扩展,与相应的单层膜相比,大多数多层膜的耐磨...

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用PVD离子源技术制备类金刚石膜研究

用PVD离子源技术制备类金刚石膜研究

2022-03-22

由于类金刚石(DLC)膜具有许多与金刚石相似或相近的优良性能,如硬度高、弹性模量高、摩擦因数低、生物相溶性好、声学性能好、电学性能佳等。因此在工业各领域都有极大的应用前景...

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Cr/CrN/CrNC/CrC/Cr-DLC梯度膜层的研究

Cr/CrN/CrNC/CrC/Cr-DLC梯度膜层的研究

2022-02-22

引言 类金刚石膜DLC具有优异机械力学性能,如高硬度、低摩擦因数、化学稳定性及高杨氏模量等。目前类金刚石在各种工模具及滑动部件上的应用受到了极大的关注。为了沉积得到附着...

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真空DLC类金刚石膜的性能及其在模具上的应用

真空DLC类金刚石膜的性能及其在模具上的应用

2022-02-10

1、前言 类金刚石,英文为Diamond-like Carbon,简称DLC,它是一类性能非常类似于金刚石的非晶碳膜。它具有和金刚石相似的性能,如高硬度、低摩擦系数、高弹性模量、高电阻率、良好的...

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沉积工艺参数对AlN薄膜择优取向影响的实验研究

沉积工艺参数对AlN薄膜择优取向影响的实验研究

2022-01-18

多年前,具有低的插入损耗与高的带外抑制的小型化高频率器件成为研究热点,尤其在高频移动通信领域。声表面波(SAW)器件有着优良的特性在高频通信领域有着广阔的应用前景。在制...

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