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        全面维护为我公司为最终用户提供的一项增值服务,通过全面维护,让旧设备基本恢复到新设备的性能,能够保证设备长时间稳定运行,解决客户的后顾之忧。

        建议客户最多2年要做一次设备的全面维护,每次需要约5天(依靠与客户的配合),全面维护的工作范围包括:

        1、更换密封圈,包括:真空室、电弧靶、溅射靶、离子源、阀门、加热器等零件密封圈;
        2、清理清洁:内衬板、挡板、加热器、布气管、泵组、控制柜、电源柜等;
        3、更换耗材:泵油、引弧针、过滤器、绝缘件、轴承、冷却管路等;
        4、仪器校准:真空计、流量计等;
        5、性能测试:设备各个部件、整体运行和真空性能指标正常;
        6、维护报告:给用户出具全面维护保养证明;

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