eArctic AS510DMTXB
AS510DMTXB是专为硬质合金刀片设计的一款PVD涂层设备，运用了GAMS多元涂层技术，GAMS运用了包括：GISETCH ：气体离子刻蚀及辅助沉积技术、4G-CAE ：第四代阴极电弧技术、UBMS非平衡磁控溅射...<
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- 详细介绍
AS510DMTXB是专为硬质合金刀片等小尺寸产品设计的一款PVD涂层设备，运用了GAMS多元涂层技术，GAMS运用了包括：GISETCH®：气体离子刻蚀及辅助沉积技术、4G-CAE®：第四代阴极电弧技术、UBMS非平衡磁控溅射技术和Smart Shutter智能源挡板技术，可以镀制SINOX4系列五元合金（Al、Ti、Cr、Me、Si）氮氧化物涂层，技术规格如下：
| 真空室尺寸 | Ø800mm * H700mm |
| 均匀可镀区 | Ø500mm * H300mm |
| 极限真空度 | 3.0*E-4Pa |
| 压升率 | 0.2Pa/hr |
| 冷却水 | 6ton/hr |
| 占据空间 | 4.5*4.0*3.5 |
| 抽气系统 | 磁悬浮涡轮分子泵抽真空系统 |
| 真空检测 | 复合真空计+薄膜真空规 |
| 工艺气体MFC | 4路 |
| 转架 | 可移出式下转架（4轴、5轴、6轴、8轴任选） |
| 4G-CAE®第四代阴极电弧系统 | 8套（4列） |
| UBMS非平衡磁控溅射系统 | 2套 |
| GISETCH®气体离子刻蚀及辅助沉积系统 | 1套 |
| 偏压电源 | 1套 |
| Smart智能源挡板 | 1套 |
| 加热系统 | 550度，3根热电偶监测 |
| 冷却水循环系统 | 配日本SMC水流开关，智能控制 |
| 自动控制 | IPC+PLC全自动控制 |
| 装载量 | 1800片/炉（以Φ20*6mm规格刀片为例） |
| 生产运行周期 | SINX4系列和SINOX4系列涂层（3μm），5.5小时/炉 |
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