- 详细介绍
AS710DTXB技术规格
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● 真空室尺寸：直径 900mm x 高度1200mm
● 均匀可镀区：直径 650mm x 高度800mm
● 工件转架系统：可移出式下装工件转架、带可升降液压推车，多种结构任选（1/4/6/8/9/12轴）
● 真空泵系统：粗抽泵（带粉尘过滤器）+罗茨泵+分子泵+前级泵
● 工艺气体进气系统：4路数字控制MFC
● 真空检测系统：复合真空计+薄膜真空规
● 偏压电源：直流（脉冲）30KW（水冷）
● Smart智能挡板系统：1套
● 4G-CAE®电弧：16套（4列*4套/列）
● 弧电源：CAE-150C，150A连续工作时间大于5小时
● GISETCH®模块：1套（GIS+AE Pinnacle Plus+ 10KW驱动电源）
● 控制系统：IPC+PLC全自动控制
● 加热模块：≥500℃
● 电力要求：100KVA，380-400V，50-60Hz
● 冷却水要求：6.0 ton/hr， Δ2.5kg/cm2，20-25℃
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| 转架推车图 | 夹具装载图 |
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| 虚拟手动操作界面 | 主监控界面显示所有参数 |
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| 镀膜样品-滚齿刀 | 镀膜样品-立铣刀 |
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