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AS500DMTXB离子镀膜机设备照片4G-CAE电弧工作状态GIMS工作状态

AS500型多功能离子真空镀膜涂层设备

行业应用解决方案:
航空航天
模具
齿轮刀具
切削...
  • AS500DMTXB离子镀膜机设备照片
  • 4G-CAE电弧工作状态
  • GIMS工作状态
  • 详细介绍
AS500是专为科研院所设计的全自动、试验(小)型、多功能PVD硬质镀膜涂层设备,具体技术规格如下:

真空室尺寸 Ø760mm * H700mm
均匀可镀区 Ø500mm * H300mm
极限真空度 3.0*10-4Pa
压升率 0.33Pa/hr(常态)
冷却水 5ton/hr
占据空间 4.0*3.0*3.5m3
真空室 日韩304不锈钢,双层内衬,五年质保
抽气系统 Edwards/Leybold磁悬浮分子泵+Leybold粗抽泵
真空检测 Inficond薄膜规+SKY90复合真空计
流量控制 七星华创7S-CS200数字流量计/Brooks/MKS/AE
转架 可移出式下转架(4轴)
阴极电弧 最多2组(4套)4G-CAE(靶材规格100*20)
磁控溅射 最多2组(4套)柱状或者平面
气体离子源 阳极层流型气体离子源1套
偏压电源 AE Pinnacle Plus 10KW/ Huettinger 18KW
智能源挡板 1套,实现镀膜前的靶材预清洗
加热系统 最高500度,3根热电偶监测
冷却水循环系统 配日本SMC水流开关,智能控制
电气元件 日本欧姆龙PLC、端子、施耐德等空开、接触器

可选装如下配置:
 
1、HIPIMS高能脉冲磁控溅射系统
2、独立公自转转架结构
3、超高真空炉体 5.0* 10-5Pa
4、Gencoa:Speedflo system
5、标准夹具
6、专用工件烤箱、冰水机、喷砂机等附属设备

丹普真空镀膜机设备严格执行欧盟CE标准和规范设计和制造。
索取离子镀膜机报价及行业解决方案:support@prochina.com.cn

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