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AS600DMTX型多功能离子真空镀膜机镀膜机下转架推车AS600DMTX俯视照片

AS600DMTXB

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  • AS600DMTX型多功能离子真空镀膜机
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  • AS600DMTX俯视照片
  • 详细介绍
AS600DMTXB型PVD离子镀膜设备可以用于沉积DLC类金刚石涂层以及常规的硬质涂层,技术规格如下:

真空室尺寸 Ø1000mm * H1000mm
均匀可镀区 Ø600mm * H600mm
极限真空度 3.0*E-4Pa
压升率 0.2Pa/hr
冷却水 6ton/hr
占据空间 4.5*4.0*3.5
抽气系统 粗抽泵+罗茨泵+分子泵+前级泵
真空检测 复合真空计+薄膜真空规
工艺气体MFC 4路
转架 可移出式下转架(4轴、5轴、6轴、8轴任选)
4G-CAE®电弧 最多9套(3列*3套/列)
磁控溅射 最多6套(平面靶或柱状靶)
GIS气体离子源 1套
偏压电源 1套
Smart智能源挡板 1套,实现镀膜前的靶材预清洗
加热系统 500度,3根热电偶监测
冷却水循环系统 配日本SMC水流开关,智能控制
电气元件 日本欧姆龙PLC、端子、施耐德等空开、接触器

 
 
索取离子镀膜机报价及行业解决方案:support@prochina.com.cn

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