- 详细介绍
AS700是针对镀膜涂层服务企业和刀模具生产企业开发的机型,结构简单,装载量大,具体技术规格如下:
真空室尺寸 | Ø900mm * H1200mm |
均匀可镀区 | Ø700mm * H800mm |
极限真空度 | 3.0*10-4Pa |
压升率 | 0.33Pa/hr(常态) |
冷却水 | 6ton/hr |
占据空间 | 4.5*4.0*3.5m3 |
真空室 | 304不锈钢 |
抽气系统 | 分子泵+粗抽泵+罗茨泵 |
真空检测 | 薄膜规+复合真空计 |
流量控制 | 四路MFC |
转架 | 可移出式下转架(4轴、5轴、6轴、8轴、9轴、12轴任选) |
阴极电弧 | 最多4组(16套)4G-CAE(靶材规格100*20) |
偏压电源 | 德国霍廷格偏压Huettinger Bias 26KW/珠海盛普PLS-30KW |
智能源挡板 | 1套,实现镀膜前的靶材预清洗 |
加热系统 | 最高500度,3根热电偶监测 |
冷却水循环系统 | 配日本SMC水流开关,智能控制 |
电气元件 | 日本欧姆龙PLC、端子、施耐德等空开、接触器 |
可选装如下配置:
1、标准夹具
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