- 详细介绍
AS700是针对镀膜涂层服务企业和刀模具生产企业开发的机型，结构简单，装载量大，具体技术规格如下：
| 真空室尺寸 | Ø900mm * H1200mm |
| 均匀可镀区 | Ø700mm * H800mm |
| 极限真空度 | 3.0*10-4Pa |
| 压升率 | 0.33Pa/hr（常态） |
| 冷却水 | 6ton/hr |
| 占据空间 | 4.5*4.0*3.5m3 |
| 真空室 | 304不锈钢 |
| 抽气系统 | 分子泵+粗抽泵+罗茨泵 |
| 真空检测 | 薄膜规+复合真空计 |
| 流量控制 | 四路MFC |
| 转架 | 可移出式下转架（4轴、5轴、6轴、8轴、9轴、12轴任选） |
| 阴极电弧 | 最多4组（16套）4G-CAE（靶材规格100*20） |
| 偏压电源 | 德国霍廷格偏压Huettinger Bias 26KW/珠海盛普PLS-30KW |
| 智能源挡板 | 1套，实现镀膜前的靶材预清洗 |
| 加热系统 | 最高500度，3根热电偶监测 |
| 冷却水循环系统 | 配日本SMC水流开关，智能控制 |
| 电气元件 | 日本欧姆龙PLC、端子、施耐德等空开、接触器 |
可选装如下配置：
1、标准夹具
分享给朋友：
京公网安备 11010502053715号