真空镀膜基本问题解决方法
发布时间：2017-08-07
1. 真空镀膜机真空抽不上去: 抽暇时刻相同，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针很快下降，大都状况是真空室漏，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，大都状况是真空机组抽气才华不可，要害查找真空泵及阀门看哪里出现泄露，或是涣散泵油污染或氧化；或前级管路密封欠好，泵油缺少；或泵油乳化，轴封漏油等。漏--本分漏和外漏，较大的漏点可以用火焰法，运用气流能使火焰违背的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在可疑点邻近逐渐查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。查找小漏和微漏：运用在高真空状况下电离管对某些气体反应活络来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注射器向可疑的当地喷发丙酮或乙醇，喷到漏点时，电离计的指针会有显着摇晃。用这种办法检漏必定要有耐性，必定要比及电离计的示值安稳了--也就是真空机组的抽气才华和漏率平衡了，然后再喷发。最好是重复几回，承认漏点。内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，可是却有以下现象：机械泵的抽速显着偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件显着锈蚀。具有以上条件根柢可以确定有内漏。
2. 真空淬火炉达不到真空度:可能是真空机组的抽气才干不可，也可能是漏率偏高，或两者都有，将真空室抽到必定的真空状况后，关闭真空阀，如果真空计数值上升很快，大都状况是真空室漏，这时应先查出漏点并且治漏。如真空计数值上升很慢，就可能是真空机组抽气才干不可，关键查找真空泵及阀门的泄露上，或真空泵油污染、氧化，或前级管路密封欠好，泵油缺少，或泵油乳化，轴封漏油等，这时要替换真空泵油或直接替换真空泵。如果设备真空度在短时刻内灵敏下降，一般是炉门、真空阀、中心隔抢手等动态密封件老化、划伤及氧化皮坠落至密封线上所形成的，可以经过收拾替换密封件，手动开关阀门检修。如果没有问题，那就检查真空室与外界接口位置，如联接法兰、水冷电极、管道及真空管等，有时可运用丙酮检漏法查询真空度改动，细心查找漏点。实在找不到漏点的话，就要把一切怀疑可能漏气的当地全部拆检并从头安装，或许加工实心法兰堵住后进行试验。
3. 真空镀膜机抽气慢:从粗抽开端检查,如果抽的时刻就长,那就是滑阀泵有问题,或前面的管道有漏气,如果粗抽没问题就是涣散泵的事了,一般是收拾泵腔换掉泵油。
4. 真空镀膜机修补：一、当正在镀膜时真空度俄然下降
1、蒸发源水路胶圈损环、高压电极密封处被击穿、工翻滚密封处胶圈损坏、烘烤引入线电极密封处被击穿、挡板动密封处胶圈损坏（替换胶圈）
2、坩埚被打穿（替换坩埚）
3、预阀、高阀俄然关闭可能是二位五通阀损坏（替换二位五通阀）
4、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否作业正常）
5、玻璃查询视镜出现裂纹、迸裂（替换玻璃）
二、长期作业的镀膜机抽真空的时刻很长且达不到作业真空、康复真空、极限真空、保真空：
1、蒸发室有许多粉尘（应清冼）
2、涣散泵良久未换油（应清冼换油）
3、前级泵反压强太大，机械泵真空度太低（应清冼换油）
4、各动密封胶圈损坏、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（替换胶圈）
5、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（从头压紧）
6、凹凸预阀是否密封可靠（注油）
5. PVD镀膜技术镀出的膜层，具有高硬度、高耐磨性（低摩擦系数）、很好的耐腐蚀性和化学安稳性等特色，膜层的寿数更长；一同膜层可以大幅度前进工件的外观装饰功能。PVD膜层能直接镀在不锈钢以及硬质合金上，对锌合金、铜、铁等压铸件应先进行化学电镀铬，然后才合适镀PVD。
6. PVD镀膜技术的运用首要分为两大类：装饰镀和东西镀。
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