真空镀膜机的结构原理
发布时间：2023-05-12
一、电控柜的操作
1.开水泵、气源
2.开总电源
3.开保持泵、真空计电源,真空计档方位V1方位,等候其值小于10后,再进入下一步操作.约需5分钟.
4.开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2方位,抽到小于2停止,约需20分钟.
5.观察涡轮分子泵读数抵达250今后,关予抽,开前机和高阀持续抽真空,抽真空抵达必定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度.真空抵达2×10-3今后才能开电子枪电源.
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作
1.总电源
2.一起开电子枪操控Ⅰ和电子枪操控Ⅱ电源：按电子枪操控Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及维护灯亮,三分钟后延时及维护灯灭,若后门未关好或水流继电器有毛病,维护灯会常亮.
3.开高压,高压会达到10KV以上,调理束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摇摆.
三、关机次序
1.关高真空表头、关分子泵.
2.待分子泵显现到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟.
3.到50以下时,再关保持泵.
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