真空镀膜机的结构原理
2017-08-07一、电控柜的操作 1.开水泵、气源 2.开总电源 3.开保持泵、真空计电源,真空计档方位V1方位,等候其值小于10后,再进入下一步操作.约需5分钟.4.开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动...
查看详情 >各种镀膜机工作原理介绍
2017-08-07空心阴极离子镀原理 在本底真空为高真空的条件下,由阴极中通入氩器气(1-10-2) 在阴极与辅佐阳极之间加上引弧电压,使氩气发作辉光放电,在空心阴极内发生低压等离子体放电...
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