问题

原因

解决方法

【ON】按钮不工作

1、总配电柜上空开未闭合
2、中央控制柜前门上的空开（AUT1）未闭合
3、偏压电源后面板上空开未闭合
4、前门未关闭或门上感应开关失效
5、多芯控制电缆（XG7/XG71）有问题
6、控制面板上的多芯插头未连接
7、高真空阀（V3）未打开
8、工件转架未转动
9、控制面板上【ON】按钮损坏
10、系统控制板（A1）接线端子虚接

1、将其闭合
2、将其闭合
3、闭合空开
4、关闭门或更换开关
5、检查并插好电缆
6、检查并插上
7、打开V3阀
8、启动工件转架
9、更换一支
10、检查并拧紧

电压不可调

1、系统控制板（A1）接线端子虚接
2、多芯控制电缆（XG7/XG71）有 问题
3、其它电源中的问题

1、检查并拧紧
2、检修并插好电缆
3、找到并更换

电源脉冲占空比不可调

1、系统控制板（A1）接线端子虚接
2、多芯控制电缆（XG7/XG71）有 问题
3、其它电源中的问题

1、检查并拧紧
2、检修并插好电缆
3、找到并更换

【ON】按钮不工作

1、总配电柜中的空开（Auto 1）未闭合
2、中央控制柜前门上的空开（AUT1）未闭合
3、功率输出板（A2）上的空开（AUT5）未闭合
4、控制面板上的多芯插头未连接
5、系统未上电
6、系统控制板（A1）和功率输出板（A2）间接线端子问题
7、系统控制板（A1）到面板的电缆没有插好
8、加热器电源或温控器的问题

1、将其闭合
2、将其闭合
3、将其闭合
4、检查并插上
5、系统上电
6、检查并接通
7、检查并插好
8、找出并更换

“ON”开关不工作

1、总配电柜中的空开未闭合
2、中央控制柜前门上的空开（AUT1）未闭合
3、电源前面板上的空开未闭合
4、控制电缆连接失败
5、电源电缆未插好
6、高阀V3未开
7、工件转架未转动
8、偏压电源未启动
9、系统控制板（A1）到面板上的电缆没有插好
10、“ON”开关损坏

1、将其闭合
2、将其闭合
3、将其闭合
4、检查并插上
5、将其插好
6、打开高阀
7、启动转架
8、启动偏压电源
9、检查并将之插好
10、找出并更换

电压输出（空载）< 60 V

1、总配电柜中的空开接触不好，造成电源缺相
2、电源上空开接触不好，造成电源缺相
3、AC继电器接触不好，造成电源缺相
4、其它电源里的问题

1、更换它
2、更换它
3、更换它
4、找出并修理

电流不可调

1、控制电缆连接失败
2、电流旋钮（电位器）坏了
3、电源中的电流调整电路板坏了
4、其它电源中的问题

1、将它们装好
2、检查并更换
3、找出并更换 
4、找出并更换

蒸发源不引弧

1、引弧针未挨着Ti块
2、引弧电路中的空开未闭合
3、控制电缆插错插座
4、引弧板损坏
5、没有压缩空气

1、调整引弧针位置
2、将其闭合
3、检查并纠正它
4、检查并更换它
5、检查并供给压缩空气

真空泵未开启

1、中央控制柜上的空开（AUT1）未开
2、功率输出板上的空开（AUT2，3,4）未闭合
3、真空室前门未关
4、节流阀（V4）未全开
5、过流继电器动作

1、将其闭合
2、将它们闭合
3、将前门关好
4、打开节流阀
5、将其复位

抽真空时间太长

1、空气太潮湿
2、真空室温度太高
3、真空室工件满载
4、真空室太脏
5、机械泵油变质
6、真空计电缆连接失败
7、真空规管坏了
8、真空计失去控制
9、存在真空室漏气：空气或冷却水进入了真空室
10、机械泵缺油

1、当真空室打开时保持加热状态
2、正常
3、正常
4、彻底打扫真空室
5、换油
6、检查并纠正它
7、检查并更换它
8、检查并改进它
9、找出并更换它
10、检查并加油

真空阀不动

1、没有压缩空气
2、换向阀阀的电磁线圈损坏
3、换向阀损坏

1、检查压缩器和管道
2、更换一个新的线圈
3、更换一个新的阀

“ON”开关未开启

气体质量流量不可调

中央控制系统

按下【SYSTEM ON】不上电

【RECYCLE】不能启动自动镀膜程序

上位计算机（IPC）

计算机不工作

点击设备上位机监控软件不能启动