- 详细介绍
ES500是我公司推出的一款钕铁硼材料表面镀铝设备，传统的铝铁硼材料镀铝来防腐蚀，一般都是通过水电镀的方式处理，水电镀的主要问题是质量不可靠、生产过程中对环境的污染严重，我们利用真空镀膜原理，利用磁控溅射和热蒸发的镀膜方式，辅助以高压离子轰击，在钕铁硼材料上实现快速镀制致密铝膜，ES500设备的主要技术规格如下：
| 真空室尺寸 | L1000mm * H1000mm * W700mm |
| 均匀可镀区 | Ø600mm * 700mm |
| 极限真空度 | 3.0*10-4Pa |
| 压升率 | 0.33Pa/hr（常态） |
| 冷却水 | 5ton/hr |
| 占据空间 | 4.0*3.0*3.5m3 |
| 真空室 | 日韩304不锈钢，双层内衬，五年质保 |
| 抽气系统 | Leybold扩散泵+Leybold粗抽泵+罗茨泵 |
| 真空检测 | SKY90复合真空计 |
| 流量控制 | 七星华创7S-CS200数字流量计/Brooks/MKS/AE |
| 转架 | 大网笼带一次自转和小网笼带二次自转，保证工件之间无磕碰接触 |
| 磁控溅射 | 柱状溅射靶1套 |
| 蒸发舟 | 氮化硼蒸发舟5套 |
| 送丝机构 | 送丝速度可调，保证不同的蒸发沉积速率 |
| 轰击电源 | 最高可达3000V |
| 加热系统 | 最高300度，2根热电偶监测 |
| 冷却水循环系统 | 配日本SMC水流开关，智能控制 |
| 电气元件 | 日本欧姆龙PLC、端子、施耐德等空开、接触器 |
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