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丹普ES500设备照片送丝结构丹普ES500设备侧视图

ES500钕铁硼蒸发镀铝设备

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  • 丹普ES500设备侧视图
  • 详细介绍
ES500是我公司推出的一款钕铁硼材料表面镀铝设备,传统的铝铁硼材料镀铝来防腐蚀,一般都是通过水电镀的方式处理,水电镀的主要问题是质量不可靠、生产过程中对环境的污染严重,我们利用真空镀膜原理,利用磁控溅射和热蒸发的镀膜方式,辅助以高压离子轰击,在钕铁硼材料上实现快速镀制致密铝膜,ES500设备的主要技术规格如下:
 
真空室尺寸 L1000mm * H1000mm * W700mm
均匀可镀区 Ø600mm * 700mm
极限真空度 3.0*10-4Pa
压升率 0.33Pa/hr(常态)
冷却水 5ton/hr
占据空间 4.0*3.0*3.5m3
真空室 日韩304不锈钢,双层内衬,五年质保
抽气系统 Leybold扩散泵+Leybold粗抽泵+罗茨泵
真空检测 SKY90复合真空计
流量控制 七星华创7S-CS200数字流量计/Brooks/MKS/AE
转架 大网笼带一次自转和小网笼带二次自转,保证工件之间无磕碰接触
磁控溅射 柱状溅射靶1套
蒸发舟 氮化硼蒸发舟5套
送丝机构 送丝速度可调,保证不同的蒸发沉积速率
轰击电源 最高可达3000V
加热系统 最高300度,2根热电偶监测
冷却水循环系统 配日本SMC水流开关,智能控制
电气元件 日本欧姆龙PLC、端子、施耐德等空开、接触器

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